FORMIROVANIE SOSTAVA V ANIONNOY PODREShETKE TVERDOGO RASTVORA InAsxSb1−x PRI MOLEKULYaRNO-LUChEVOY EPITAKSII NA VITsINAL'NOY POVERKhNOSTI (001)

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅存取

详细

Экспериментально исследована зависимость доли мышьяка в слоях InAsxSb1−x, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на вицинальной поверхности (001) с использованием потоков молекул As2/As4 и Sb4. Экспериментальные данные описаны с помощью кинетической модели, основанной на положениях и подходах, предложенных и апробированных ранее применительно к GaPxAs1−x. В настоящей модели учтены особенности взаимодействия молекул As2/As4 и Sb4 с поверхностью InAsxSb1−x(001). Установлено, что механизм взаимодействия молекул As2 c InAsxSb1−x(001) зависит от поверхностной сверхструктуры.

作者简介

M. Putyato

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Новосибирск, Россия

E. Emel'yanov

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Email: e2a@isp.nsc.ru
Новосибирск, Россия

M. Petrushkov

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Новосибирск, Россия

D. Bogomolov

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Новосибирск, Россия

A. Vasev

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Новосибирск, Россия

B. Cemyagin

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Новосибирск, Россия

V. Preobrazhenskiy

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук

Новосибирск, Россия

参考

  1. A. Bosacchi, S. Franchi, P. Allegri et al., J. Cryst. Growth 201/202, 858 (1999), doi: 10.1016/s0022-0248(98)01473-0.
  2. W. L. Sarney and S. P. Svensson, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 060604 (2015), doi: 10.1116/1.4935892.
  3. T. Zederbauer, A. M. Andrews, D. MacFarland et al., APL Mater. 5, 035501 (2017), doi: 10.1063/1.4973216.
  4. J. Klem, D. Huang, H. Morkoc et al., J. Appl. Phys. Lett. 50, 1364 (1987), doi: 10.1063/1.97857.
  5. X. Sun, S. Wang, J. S. Hsu et al., IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 8, 817 (2002), doi: 10.1109/JSTQE.2002.800848.
  6. K. Mochizuki and T. Nishinaga, Jap. J. Appl. Phys. 27, 1585 (1988), doi: 10.1143/JJAP.27.1585.
  7. Е. А. Емельянов, А. В. Васев, Б. Р. Семягин и др., ФТП 53, 512 (2019), doi: 10.21883/FTP.2019.04.47451.8981.
  8. M. Losurdo, P. Capezzuto, G. Bruno et al., J. Appl. Phys. 100, 013531 (2006), doi: 10.1063/1.2216049.
  9. Е. А. Емельянов, Д. Ф. Феклин, А. В. Васев и др., Автометрия 47, 43 (2011).
  10. J. R. Arthur, Surf. Sci. 43, 449 (1974), doi: 10.1116/1.1317818.
  11. C. T. Foxon and B. A. Joyce, Surf. Sci. 64, 293 (1977), doi: 10.1016/0039-6028(77)90273-4.
  12. K. Ploog, Ann. Rev. Mater. Sci. 11, 171 (1981), doi: 10.1146/annurev.ms.11.080181.001131.
  13. J. M. Van Hove and P.J. Cohen, J. Vac. Sci. Technol. 20, 726 (1982), doi: 10.1063/1.96017.
  14. C. E. C. Wood, C. R. Stanley, G. W. Wicks, and M. B. Esi, J. Appl. Phys. 54, 1868 (1983), doi: 10.1063/1.332239.
  15. Y. H. Wang, W. C. Liu, C. Y. Chang, and S. A. Liao, J. Vac. Sci. Technol. B 4(1), 30 (1986), doi: 10.1116/1.583319.
  16. T. Nomura, H. Ogasawara, M. Miyao, and M. Hagino, J. Cryst. Growth 111, 61 (1991), doi: 10.1016/0022-0248(91)90947-4.
  17. S. Yu. Karpov and M. A. Maiorov, Surf. Sci. 393, 108 (1997), doi: 10.1016/S0039-6028(97)00563-3.
  18. E. S. Tok, J. H. Neave, F. E. Allegretti, J. Zhang, T. S. Jones, and B. A. Joyce, Surf. Sci. 371, 277 (1997), doi: 10.1016/S0039-6028(96)01085-0.
  19. Ю. Г. Галицын, И. И. Мараховка, С. П. Мощенко, В. Г. Мансуров, Письма в ЖТФ 7, 31 (1998).
  20. Е. А. Емельянов, М. А. Путято, Б. Р. Семягин, Д. Ф. Феклин, В. В. Преображенский, ФТП 49, 163 (2015), doi: 10.1016/S0039-6028(96)01085-0.
  21. R. Heckingbottom, G. J. Davies, and K. A. Prior, Surf. Sci. 132, 375 (1983), doi: 10.1016/0039-6028(83)90548-4.
  22. R. Heckingbottom, J. Vac. Sci. Technol. B 3, 572 (1985), doi: 10.1116/1.583182.
  23. H. Seki, A. Koukitu, J. Cryst. Growth. 78, 342 (1986), doi: 10.1016/0022-0248(86)90070-9.
  24. П. С. Копьев, Н. Н. Леденцов, ФТП 22, 1729 (1988).
  25. S. V. Ivanov P. D. Altukhov, T. S. Argunova et al., Semicond. Sci. Technol. 8, 347 (1993).
  26. А. Ю. Егоров, А. Р. Ковш, А. Е. Жуков, В. М. Устинов, П. С. Копьев, ФТП 31, 1153 (1997), doi: 10.1134/1.1187033.
  27. A. Y. Egorov, A. R. Kovsh, V. M. Ustinov et al., J. Gryst. Growth. 188, 69 (1998), doi: 10.1134/1.1187033.
  28. М. А. Путято, Е. А. Емельянов, М. О. Петрушков и др., ЖЭТФ 165, 51 (2024), doi: 10.31857/S0044451024010061.
  29. N. Jones, The Atomic Structure of the Indium Antimonide (001) Surface: The Degree of Doctor of Philosophy at the University of Leicester (1998).

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2025